Молекулярно-лучевая эпитаксия : (приборная реализация) /
А.Г. Денисов, Ю.Г. Садофьев, А.П. Сеничкин; М-во электронной пром-cти, ЦНИИ "Электроника".
- Москва : Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1981.
- 84 с.
- Технология, организация производства и оборудование .