TY  - BOOK
AU  - Глудкин,Олег Павлович
AU  - Густов,Александр Евгеньевич
AU  - Пролейко,В.М.
TI  - Устройства и методы фотометрического контроля в технологии производства ИС
PY  - 1981///
CY  - Москва
PB  - Радио и связь
KW  - Электротехника
KW  - фотометрические методы
KW  - источники погрешностей
N1  - Библиогр.: с. 105 - 108 (66 назв.)
ER  -