Васичев, Борис Никитович.
Электронно-зондовый микроанализ тонких пленок /
Б.Н. Васичев.
- Москва : Металлургия, 1977.
- 240 с.
Библиогр.: с. 236 - 239 (109 назв.)
Радиотехника и электроника
локальный анализ тонких пленок спектрометры энергетической дисперсии