TY  - BOOK
AU  - Блинов,Иван Григорьевич
AU  - Дороднов,Андрей Михайлович
AU  - Минайчев,Виктор Егорович
ED  - Министерство электронной промышленности СССР
TI  - Вакуумные сильноточные плазменные устройства и их применение в технологическом оборудовании микроэлектроники: обзоры по электронной технике 
PY  - 1974///
CY  - Москва
PB  - Изд-во ЦНИИ "Электроника"
KW  - Микроэлектроника
KW  - плазменные сорбционные вакуумные насосы
KW  - плазменная технология
N1  - Ч. 1 (1974, 84 с.; библиогр.: с. 73 - 84); Ч. 2 (1974, 76 с.; библиогр.: с. 72 - 75)
ER  -