TY  - BOOK
AU  - Блинов,Иван Григорьевич
AU  - Ельчанинов,Евгений Иванович
AU  - Мелехин,Юрий Яковлевич
AU  - Панкратов,Лев Михайлович
ED  - Министерство электронной промышленности СССР
TI  - Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок
PY  - 1969///
CY  - Москва
PB  - Электроника
KW  - Тонкие пленки
KW  - микроэлектроника
ER  -