Блинов, Иван Григорьевич. <br/><br/>
Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок / 
И.Г. Блинов, Е.И. Ельчанинов, Ю.Я. Мелехин, Л.М. Панкратов; М-во электронной пром-сти СССР. 
 - Москва :  Электроника,  1969. 
 - 108 с. :  рис. 
 - Справочные материалы по электронной технике  вып. 1 (7) .
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Тонкие пленки
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>микроэлектроника