TY  - BOOK
AU  - Белановский,Александр Сергеевич
AU  - Баранов,Г.Д.
AU  - Малин,Б.В.
ED  - Министерство электронной промышленности СССР
TI  - Пленки нитрида кремния: Обзоры по электронной технике 
PY  - 1968///
CY  - Москва
PB  - Изд-во ин-та Электроника
KW  - Полупроводники
KW  - кремния нитрида
N1  - Библиогр.: с. 123 - 125 (40 назв.)
ER  -