Белановский, Александр Сергеевич. <br/><br/>
Пленки нитрида кремния :  Обзоры по электронной технике / 
А.С. Белановский, Г.Д. Баранов, под ред Б.В. Малина; М-во электр. пром-сти СССР. 
 - Москва :  Изд-во ин-та Электроника,  1968. 
 - 125 с. :  рис., табл. 
 - Полупроводниковые приборы  вып. 15 .
<br/><br/>Библиогр.: с. 123 - 125 (40 назв.) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводники
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>кремния нитрида