TY  - BOOK
AU  - Барил,Михаил Абрамович
AU  - Ирошников,Ю.П.
AU  - Егорова,М.Ф.
TI  - Оборудование для наращивания эпитаксиальных слоев кремния из газовой фазы: обзоры по электронной технике 
PY  - 1971///
CY  - Москва
PB  - ЦНИИ "Электроника"
KW  - наращивание эпитаксиальных слоев кремния
KW  - зарубежное оборудование
N1  - Библиогр.: с. 25 - 26 (77 назв.)
ER  -