Барил, Михаил Абрамович <br/><br/>
Оборудование для наращивания эпитаксиальных слоев кремния из газовой фазы :  обзоры по электронной технике / 
М.А. Барил, Ю.П. Ирошников, М.Ф. Егорова. 
 - Москва :  ЦНИИ "Электроника",  1971. 
 - 28 с. :  рис. 
 - Микроэлектроника  вып. 8 .
<br/><br/>Библиогр.: с. 25 - 26 (77 назв.) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>наращивание эпитаксиальных слоев кремния
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>зарубежное оборудование