TY  - BOOK
AU  - Бакун,А.В.
AU  - Щеглова,В.В.
ED  - Министерство электронной промышленности СССР
TI  - Легированные пленки двуокиси кремния в производстве полупроводниковых приборов: реферативно-аналитический обзор 
PY  - 1974///-
CY  - Москва
PB  - ЦНИИ "Электроника"
KW  - Электронная техника
KW  - полупроводники
N1  - Библиогр.: с. 44 - 47 (41 назв.); Ч. 1 (1974, 48 с.); Ч. 2 (1974, 68 с.)
ER  -