TY  - BOOK
AU  - Гришин,В.М.
AU  - Каминский,В.В.
AU  - Курмаев,Ф.А.
AU  - Корякина,Е.С.
ED  - Министерство электронной промышленности СССР
TI  - Аппаратура для диффузии и эпитаксии: обзоры по электронной технике 
PY  - 1975///
CY  - Москва
PB  - Изд-во ЦНИИ Электроника
KW  - Полупроводниковые приборы
KW  - микроэлектроника
N1  - Библиогр.: с. 39 - 43 (50 назв.)
ER  -