Анализ путей развития оборудования для нанесения тонких пленок в вакууме :  обзоры по электронной технике / 
С.А. Ашинов, Е.А. Деулин, Ю.Я. Мелехин, Ю.А. Хруничев; науч. ред. И.Г. Блинов; М-во электронной промышленности СССР, ЦНИИ "Электроника". 
 - Москва :  Изд-во ЦНИИ "Электроника",  1977. 
 - часть. 
 - Технология, организация производства и оборудование  вып. 13 .
<br/><br/> Ч. 1 (1977, 47 с., библиогр.: с. 44 - 47 (67 назв.)) :  Ч. 2 (1978, 69 с., библиогр.: с. 61 - 69 (177 назв.)) :  Ч. 3 (1978, 40 с., библиогр.: с. 36 - 39 (74 назв.)) : 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Электронная промышленность
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>пути повышения цикловой производительности тонкие пленки в вакууме