TY  - BOOK
AU  - Карбань,Валерий Иванович
AU  - Борзаков,Юрий Иванович
TI  - Обработка монокристаллов в микроэлектронике
PY  - 1988///
CY  - Москва
PB  - Радио и связь
KW  - Микроэлектроника - Обработка монокристаллов
KW  - Монокристаллы в микроэлектронике
N1  - Библиогр.: с. 96-102
ER  -