Обработка монокристаллов в микроэлектронике /
В.И. Карбань, Ю.И. Борзаков.
- Москва : Радио и связь, 1988.
- 103 с. : ил.
- Массовая библиотека инженера "Электроника" .
Библиогр.: с. 96-102
Микроэлектроника - Обработка монокристаллов Монокристаллы в микроэлектронике