Колобов, Николай Афанасьевич <br/><br/>
Диффузия и окисление полупроводников / 
Н.А. Колобов, М.М. Самохвалов. 
 - Москва :  Металлургия,  1975. 
 - 456 с. 
<br/><br/>Библиогр. : с. 438 - 449 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Термодинамика диффузии
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>процесс диффузии