TY  - BOOK
AU  - Шермергор,Тимофей Дмитриевич
ED  - Московский институт электронной техники
TI  - Физические основы приборов микроэлектроники: Сборник научных трудов 
PY  - 1988///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - Микроэлектронные схемы интегральные - Физика - Сборники
N1  - Библиогр. в конце ст
ER  -