Физические основы приборов микроэлектроники :  Сборник научных трудов / 
Моск. ин-т электрон. техники; Под ред. Т.Д. Шермергора. 
 - Москва :  МИЭТ,  1988. 
 - 132 с. :  ил. 
<br/><br/>Библиогр. в конце ст. 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Микроэлектронные схемы интегральные - Физика - Сборники