TY  - BOOK
AU  - Барыбин,Анатолий Андреевич
TI  - Электроника и микроэлектроника: физико-технологические основы: Учебное пособие для вузов по направлениям 550700 и 654100 "Электроника и микроэлектроника" подготовки бакалавров, магистров и дипломированных специалистов 
SN  - 5-9221-0679-1
PY  - 2006///
CY  - Москва
PB  - Физматлит
KW  - Радиотехника
KW  - Электронные приборы - Технология производства - Теория, исследования - Методы исследований - Учебник для высшей школы
KW  - Микроэлектроника
KW  - Интегральные схемы
N1  - Библиогр.: с. 415-416
ER  -