Барыбин, Анатолий Андреевич <br/><br/>
Электроника и микроэлектроника: физико-технологические основы :  Учебное пособие для вузов по направлениям 550700 и 654100 "Электроника и микроэлектроника" подготовки бакалавров, магистров и дипломированных специалистов / 
А.А. Барыбин. 
 - Москва :  Физматлит,  2006. 
 - 423 с. :  ил. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 415-416 
<br/><br/><label>ISBN: </label>5-9221-0679-1 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Радиотехника
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Электронные приборы - Технология производства - Теория, исследования - Методы исследований - Учебник для высшей школы Микроэлектроника Интегральные схемы