TY  - BOOK
AU  - Неволин,Владимир Кириллович
TI  - Зондовые нанотехнологии в электронике: Учебное пособие 
SN  - 5-94836-098-9 (В пер.)
PY  - 2006///
CY  - Москва
PB  - Техносфера
KW  - Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Технология производства -- Оборудование
N1  - Библиогр. в конце гл
ER  -