TY  - BOOK
AU  - Герасименко,Николай Николаевич
AU  - Пархоменко,Юрий Николаевич
TI  - Кремний - материал наноэлектроники: Учебное пособие 
SN  - 5-94836-101-2
PY  - 2007///
CY  - Москва
PB  - Техносфера
KW  - Физика
KW  - Наноэлектроника
KW  - Кремний - материал наноэлектроники
N1  - Список лит. с. 342-346
ER  -