Кремний - материал наноэлектроники : Учебное пособие /
Н.Н. Герасименко, Ю.Н. Пархоменко.
- Москва : Техносфера, 2007.
- 352 с. : ил.
- Мир материалов и технологий VI (12) .
Список лит. с. 342-346
5-94836-101-2 978-5-94836-101-7
Физика Наноэлектроника--Кремний - материал наноэлектроники