Пул, Чарлз П. <br/><br/>
Нанотехнологии :  Учебное пособие / 
Ч. Пул, Ф. Оуэнс ; Пер. с англ. под ред. Ю.И. Головина, Доп. В.В. Лучинина. 
 - 2-е изд., доп. 
 - Москва :  Техносфера,  2005. 
 - 336 с. :  ил. 
 - Мир материалов и технологий  VI (03) .
<br/><br/>Библиогр.: с. 327 
<br/><br/>
<br/><br/><label>ISBN: </label>5-94836-081-4 0-471-07935-9 (англ.) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектроника. Интегральные схемы