Нанесение защитных покрытий в вакууме /
И.Л. Ройх, Л.Н. Колтунова, С.Н. Федосов.
- Москва : Машиностроение, 1976.
- 367 с. : ил. 195,табл. 59.
Библиогр. 254 назв.
Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них