Плазменные покрытия /
В.В. Кудинов ; ИМ им. А.А. Байкова АН СССР.
- Москва : Наука, 1977.
- 184 с. : ил. 86, табл. 24.
Библиогр. 155 назв.
Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них