TY  - BOOK
AU  - Пул-мл., Ч.
AU  - Оуэнс,Ф.
AU  - Головин,Ю.И.
TI  - Нанотехнологии: Учебное пособие 
SN  - 5-94836-081-4
PY  - 2006///
CY  - Москва
PB  - Техносфера
KW  - Микроэлектроника. Интегральные схемы
N1  - Списки лит в конце глав; Оригинал на англ.; Charles P. Poole, Jr., Frank J. Owens -; A John Wiley &Sons, INC., Publication : 2003
ER  -