Пул-мл., Ч. <br/><br/>
Нанотехнологии :  Учебное пособие / 
Ч. Пул-мл., Ф. Оуэнс ; Пер. с англ. под ред. Ю.И. Головина. 
 - 2-е изд., доп. 
 - Москва :  Техносфера,  2006. 
 - 336 с. :  ил. 
 - Мир материалов и технологий  VI (09) .
<br/><br/>Списки лит в конце глав 
<br/><br/>
<br/><br/><label>ISBN: </label>5-94836-081-4 0-471-07935-9 (англ.) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектроника. Интегральные схемы