TY  - BOOK
ED  - Всесоюзная конф. по физ.-хим. основам легирования полупроводниковых материалов
TI  - Шестая Всесоюзная конференция по физико-химическим основам легирования полупроводниковых материалов, Москва, 17-19 окт. 1988 г.: Тезисы докладов
SN  - 5-02-007213-3
PY  - 1988///
CY  - Москва
PB  - Наука
KW  - Полупроводники - Легирование - Физико-химические основы
ER  -