Шестая Всесоюзная конференция по физико-химическим основам легирования полупроводниковых материалов, Москва, 17-19 окт. 1988 г. :  Тезисы докладов. 

 - Москва :  Наука,  1988. 
 - 240 с. 
<br/><br/>АН СССР, Науч. совет по пробл. "Физ.-хим. основы полупроводникового материаловедения", Ин-т металлургии им. А.А. Байкова 
<br/><br/><label>ISBN: </label>5-02-007213-3 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Полупроводники - Легирование - Физико-химические основы