TY  - BOOK
AU  - Сысоев,Валерий Васильевич
TI  - Автоматизированное проектирование линий и комплектов оборудования полупроводникового и микроэлектронного производства
PY  - 1982///
CY  - Москва
PB  - Радио и связь
KW  - Электроизмерительные приборы
N1  - Список лит. с. 114-117
ER  -