TY  - BOOK
AU  - Чижевич,Людмила Анатольевна
AU  - Гамаюнов,Евгений Леонидович
ED  - Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР
ED  - Дальневосточный политехнический институт им. В.В. Куйбышева
TI  - Технологические процессы изготовления микросхем: Учебное пособие 
PY  - 1986///
CY  - Владивосток
PB  - Изд-во ДВПИ
KW  - Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника
N1  - Библ. 3 назв
ER  -