TY  - BOOK
AU  - Овчаров,В.Ф.
AU  - Павлов,П.В.
TI  - Технология ионного легирования
PY  - 1974///
CY  - Москва
PB  - Советское радио
KW  - Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника
N1  - Библиогр. 301 назв
ER  -