Технология ионного легирования / 
Под ред. С. Намбы ; Пер. с яп. В.Ф. Овчарова ; Под ред. П.В. Павлова. 
 - Москва :  Советское радио,  1974. 
 - 160 с. :  6 табл., 100 рис. 
<br/><br/>Библиогр. 301 назв. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника