TY  - BOOK
AU  - Мягков,Алексей Тихонович
AU  - Корсетов,Евгений Михайлович
TI  - Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники
PY  - 1979///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - Микроэлектроника
KW  - Микроэлектронные схемы, интегральные - Производство - Оборудование
N1  - Библиогр.: с. 305-310
ER  -