Борисенко, Александр Сергеевич <br/><br/>
Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств :  Учебное пособие / 
А.С. Борисенко, Н.И. Бавыкин. 
 - Москва :  Машиностроение,  1983. 
 - 320 с.  ил. 
<br/><br/>Список лит. с. 318-319 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектроника. Интегральные схемы