TY  - BOOK
AU  - Резвый,Ростислав Ростиславович
TI  - Эллипсометрия в микроэлектронике
PY  - 1983///
CY  - Москва
PB  - Радио и связь
KW  - Электроника
N1  - Список лит. с. 118-120
ER  -