Резвый, Ростислав Ростиславович <br/><br/>
Эллипсометрия в микроэлектронике / 
Р.Р. Резвый. 
 - Москва :  Радио и связь,  1983. 
 - 120 с. :  ил. 
<br/><br/>Список лит. с. 118-120 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Электроника