TY  - BOOK
AU  - Верховский,Евгений Ильич
TI  - Лазерная технология в производстве интегральных микросхем: Учебное пособие для ПТУ 
SN  - 5-06-001078-3
PY  - 1990///
CY  - Москва
PB  - Высшая школа
KW  - Оптические мазеры (лазеры)
N1  - Список лит. с. 55
ER  -