Верховский, Евгений Ильич <br/><br/>
Лазерная технология в производстве интегральных микросхем :  Учебное пособие для ПТУ / 
Е.И. Верховский. 
 - Москва :  Высшая школа,  1990. 
 - 56 с.  ил. 
<br/><br/>Список лит. с. 55 
<br/><br/><label>ISBN: </label>5-06-001078-3 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Оптические мазеры (лазеры)