TY  - BOOK
AU  - Берри,Р.
AU  - Холл,П.
AU  - Гаррис,М.
AU  - Генкина,В.И.
AU  - Гиваргизова,Е.И.
TI  - Тонкопленочная технология
PY  - 1972///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника
N1  - Список лит. с. 329-335; Оригинал на англ; Robert W. Berry, Peter M. Hall, Murray T. Harris-; New Jersey : D. Van Nostrand Company, Inc.: 1972
ER  -