Берри, Р.
Тонкопленочная технология /
Р. Берри, П. Холл, М. Гаррис ; Пер. с. англ. В.И. Генкина, Е.И. Гиваргизова.
- Москва : Энергия, 1972.
- 336 с. ил.
Список лит. с. 329-335
Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника