TY  - BOOK
AU  - Кожитов,Лев Васильевич
AU  - Липатов,Владимир Владимирович
AU  - Тимошин,Анатолий Семенович
AU  - Волков,Михаил Петрович
TI  - Жидкофазная эпитаксия кремния
SN  - 5-229-00341-3
PY  - 1989///
CY  - Москва
PB  - Металлургия
KW  - Полупроводниковые пленки - Получение
KW  - Кремний - Кристаллы - Рост
N1  - Авт. указаны на обороте тит. л; Библиогр.: с. 195-201
ER  -