Жидкофазная эпитаксия кремния / 
Л.В. Кожитов, В.В. Липатов, А.С. Тимошин, М.П. Волков. 
 - Москва :  Металлургия,  1989. 
 - 201 с.  ил. 
<br/><br/> Авт. указаны на обороте тит. л. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 195-201 
<br/><br/><label>ISBN: </label>5-229-00341-3 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Полупроводниковые пленки - Получение Кремний - Кристаллы - Рост