TY  - BOOK
AU  - Гаврилов,Роман Александрович
AU  - Скворцов,Альберт Матвеевич
TI  - Технология производства полупроводниковых приборов
PY  - 1968///
CY  - Ленинград
PB  - Энергия. Ленингр. отд-ние
KW  - Технология полупроводниковых приборов
N1  - Список лит. с. 229-237
ER  -