Гаврилов, Роман Александрович <br/><br/>
Технология производства полупроводниковых приборов / 
Р.А. Гаврилов, А.М. Скворцов. 
 - Ленинград :  Энергия. Ленингр. отд-ние,  1968. 
 - 240 с. :  ил. 
<br/><br/>Список лит. с. 229-237 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Технология полупроводниковых приборов