TY  - BOOK
AU  - Березин,Андрей Сергеевич
AU  - Мочалкина,Ольга Романовна
AU  - Степаненко,И.П.
TI  - Технология и конструирование интегральных микросхем: Учебное пособие 
PY  - 1983///
CY  - Москва
PB  - Радио и связь
KW  - Микроэлектроника. Интегральные схемы
N1  - Список лит. с. 227
ER  -