Активируемые процессы технологии микроэлектроники :  Междуведомственный тематический научный сборник Вып. 8 / 
Таганрогский радиотехнический ин-т им. В.Д. Калмыкова ; [Редкол.: Ю.И. Молчанов (отв. ред.) и др.] 
 - Таганрог :  Таганрогского радиотехнического ин-та ,  1986. 
 - 148 с. 
<br/><br/><label>ISBN: </label> 1.35 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектронные схемы - Производство - Сборники