TY  - BOOK
AU  - Баранов,А.И.
AU  - Поперека,М.Я.
AU  - Рудяк,В.М.
ED  - Калининский государственный университет
TI  - Физика пленок
PY  - 1972/// -
CY  - Калинин
PB  - КГУ
KW  - Получение тонких слоев, тонких пленок
N1  - Ч. 1 ( 1972, 85 с., ил., библиогр. в конце глав ); Ч. 2 ( 1972, 92 с., ил., библиогр. в конце глав )
ER  -