Травление полупроводников / 
Пер. с англ. С.Н. Горина. 
 - Москва :  Мир,  1965. 
 - 382 с.  ил. 
<br/><br/>Библиогр. 393 назв. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Проводники и полупроводники